测试装置

摘要

一种测试装置，具有测试模块、主信号供给部，及从信号供给部。测试模块供给至电子元件。主信号供给部依照被给予的时序信号的相位而生成第一时序信号，并将其供给到测试模块。从信号供给部接收自主信号供给部而来的时序信号，生成第二时序信号并供给到测试模块，此第二时序信号用以控制测试模块提供给电子元件的测试图案。从信号供给部具有相位调整电路，其通过延迟自主信号供给部接收的时序信号，使主信号供给部输出第一时序信号的时序，与从信号供给部输出第二时序信号的时序约略相同。

主权项

1. 一种测试装置，其特征是测试电子元件，该测试装置包括：测试模块，把用于测试该电子元件的测试图案供给至该电子元件；主信号供给部，生成第一时序信号，用以控制该测试模块把该测试图案供给到该电子元件，并将该第一时序信号供给到该测试模块中预定的一个或多个管脚；以及从信号供给部，从该主信号供给部接收第三时序信号，并依照自该主信号供给部所接收的上述第三时序信号的相位，生成第二时序信号，用以控制该测试模块把该测试图案供给到该电子元件，并将该第二时序信号供给到该测试模块的管脚之中与该主信号供给部不同的一个或多个管脚，其中该从信号供给部具有相位调整电路，通过延迟自该主信号供给部接收的上述第三时序信号，使该主信号供给部输出该第一时序信号的时序，与该从信号供给部输出该第二时序信号的时序约略相同。