RING-SHAPED HIGH-DENSITY PLASMA SOURCE AND METHOD,申请号EP20010959288-传众专利搜索

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发明名称	RING-SHAPED HIGH-DENSITY PLASMA SOURCE AND METHOD
摘要
申请公布号	EP1305453(B1)	申请公布日期	2009.05.06
申请号	EP20010959288	申请日期	2001.07.27
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	BRCKA, JOZEF
分类号	H01J37/32;H05H1/46;C23C14/34;C23C16/509;H01J37/34;H01L21/205;H01L21/3065	主分类号	H01J37/32
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