光电生产线

摘要

本发明大致是有关利用适以在形成太阳能电池的处理中执行一或多步骤的处理模组来形成太阳能电池的系统。自动化太阳能电池工厂一般配置有用来形成太阳能电池的自动化处理模组和自动化设备。此自动化太阳能电池工厂因此大致包含一基板接收模组，用来接收基板；一或多吸收层沉积群集工具，具有至少一处理腔室可沉积含矽层在基板表面上；一或多背接触沉积腔室；一或多材料移除腔室；太阳能电池封埋装置；压力器模组；自动化接合箱黏接模组；和一或多品质确保模组，适以测试及合格化已完全形成的太阳能电池装置。