外观检测方法,标准图案及具有标准图案的外观检查装置

摘要

本发明提供一种不需要标准图案的严密的位置对合，不会将合格品误判为不合格品，且能够抑制作为标准图案而应准备的基准图案部分的种类的增大的外观检查方法及标准图案以及外观检查装置。为一种对具有重复图案的检查区域(16a～16i)的外观，根据与设定的标准图案的比较而进行检查的方法及装置。将检查区域(16a～16i)划分为纵横的多个视野区域，作为标准图案(17)，利用因所划分的各视野区域中所包括的检查区域(16a～16i)的每个边缘形状的不同而含有各边缘形状的彼此不同的基准图案部分(17a～17i)。本发明适用于对存储器和CCD(电荷耦合元件)这样的半导体芯片(16)的外观进行检查。

主权项

1、一种外观检查方法，为一种通过与设定的标准图案的比较来检查具有重复图案的检查区域的外观的外观检查方法，其特征在于：将前述检查区域划分为纵横的多个视野区域；利用所划分的各前述视野区域所对应的基准图案部分作为标准图案，所述各个基准图案部分，因前述检查区域的每个边缘形状的不同而含有各个彼此不同的边缘形状；并通过该基准图案部分和与该基准图案部分相对应的前述视野区域的比较，而对前述检查区域的外观进行检查；其中所述的检查区域为矩形，并通过向纵及横方向进行划分而使矩形的前述检查区域被划分为前述视野区域；且前述基准图案部分包括适用于前述检查区域的角部并含有规定该角部的前述检查区域的边缘的角部图案部分、适用于前述检查区域的前述角部间并含有该角部间的边缘的一部分的边缘图案部分；其中所述的角部图案部分由分别适用于前述检查区域的4个角部的4种角部图案部分构成，前述边缘图案部分由分别沿前述检查区域的4边适用的4种边缘图案部分构成，且前述基准图案部分还包括不含有前述检查区域的边缘的1种中央图案部分，藉此，前述基准图案部分由全部9种的基准图案部分构成。