| 发明名称 | 一种高功率平面磁控溅射阴极 | ||
| 摘要 | 一种高功率平面磁控溅射阴极，它属于一种双银层低辐射膜。它主要是解决现有的平面磁控溅射阴极其磁铁浸泡在水中，用久了会消磁等技术问题。其技术方案要点是：它由包括阴极体(4)、靶材(1)和磁铁构成，靶材(1)安装在阴极体(4)的上部，在阴极体(4)的内腔内设置有密闭的冷却通道(2)，在阴极体(4)内腔内其底部与冷却通道(2)之间设置有磁靴(5)，在冷却通道(2)与磁靴(5)之间设置有磁铁(3)。它通过在阴极体内部设置一个独立的冷却通道，从而使磁铁不与冷却媒介接触，避免永久磁铁被冷却媒介腐蚀；并通过设计具有高导热性能材料制成的热传导板与靶材大面积接触，从而可使靶材得到充分的冷却，使阴极能承受更高的功率。它可广泛应用于真空磁控溅射镀膜设备上。 | ||
| 申请公布号 | CN101418432A | 申请公布日期 | 2009.04.29 |
| 申请号 | CN200810143346.1 | 申请日期 | 2008.10.17 |
| 申请人 | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 | 发明人 | 陈理;李国强 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 湘潭市雨湖区创汇知识产权代理事务所 | 代理人 | 左祝安 |
| 主权项 | 1、一种高功率平面磁控溅射阴极，它由包括阴极体(4)、靶材(1)和磁铁构成，在阴极体(4)的内腔内安装有磁铁，靶材(1)安装在阴极体(4)的上部，其特征是：在阴极体(4)的内腔内设置有密闭的冷却通道(2)，在阴极体(4)内腔内其底部与冷却通道(2)之间设置有磁靴(5)，在冷却通道(2)与磁靴(5)之间设置有磁铁(3)。 | ||
| 地址 | 411100湖南省湘潭市雨湖区草塘路26号 | ||