集成电路制造净室机构中的液体泄漏传感器的方法和系统

摘要

讨论了一种用于感测泄漏能够导致重大损坏的制造机构或其它环境中的泄漏的方法和装置。传感器装置包括：便携式壳；外部感测装置，包含能够根据与两个电极元件的接触来感测泄漏流体的至少一电极元件对；放大器装置，用于接收和放大来自外部感测装置的信号；以及输出装置，能够基于来自放大器装置的放大信号来生成输出信号。在本发明的一个实施例中，外部感测装置为包括该电极元件对的扁平构件，其中扁平构件能够附着于表面区。输出装置可以是能够发射音频信号的音频装置、可视指示器如LED、或与远程位置的监控站的连接。传感器装置还可以包括用于在至少两个不同范围之间改变外部感测装置的感测范围的开关。

主权项

1. 一种用于集成电路制造的机构环境中使用的超纯水的便携式化学传感器装置，其包括：便携式壳，该便携式壳具有小于等于4英寸的长度、小于等于1.5英寸的厚度以及小于等于3英寸的宽度；感测端口，耦合到所述便携式壳且耦合到外部感测装置，该外部感测装置为至少一电极元件对，每个电极元件彼此空间地设置，该电极元件对能够根据泄漏流体与两个电极元件的接触来感测泄漏流体；放大器装置，耦合到所述感测端口，该放大器装置能够接收来自所述外部感测装置的第一格式的一个或多个信号，且能够将所述第一格式的信号从所述第一格式转换到第二格式；以及输出装置，该输出装置耦合到控制器装置，该输出装置能够基于第二格式的信号输出与所述外部感测装置的状态相关联的信号。