化学机械研磨机台的研磨液供应设备与研磨液混合方法

摘要

一种研磨液传输设备，包含有传输管路、第一研磨液供应槽，连通至该传输管路用以注入研磨剂至该传输管路中、第二研磨液供应槽连通至该传输管路用以注入清洁药剂至该传输管路中、第三研磨液供应槽，连通至该传输管路用以注入抗蚀剂至该传输管路中，以及第四研磨液供应槽，连通至该传输管路用以注入氧化剂至该传输管路中。

主权项

1. 一种应用于化学机械研磨机台的研磨液传输设备，包含有：传输管路，该传输管路包含有第一端与第二端，且该第一端是与该化学研磨机台的研磨设备连通；去离子水冲洗设备，设置于传输管路的第二端；第一研磨液供应槽，连通至传输管路靠近第二端的位置，用以注入研磨剂至传输管路中，且第一研磨液供应槽包含有止回阀设于第一研磨液供应槽与传输管路之间；第二研磨液供应槽，连通至传输管路位于第一研磨液供应槽与第一端之间的位置，用以注入清洁药剂至传输管路中，且第二研磨液供应槽包含有止回阀设于第二研磨液供应槽与传输管路之间；第三研磨液供应槽，连通至传输管路位于第一研磨液供应槽与第一端之间的位置，用以注入抗蚀剂至传输管路中，且第三研磨液供应槽包含有止回阀设于第三研磨液供应槽与传输管路之间；以及第四研磨液供应槽，连通至传输管路靠近第一端的位置，用以注入氧化剂至传输管路中，且该第四研磨液供应槽包含有止回阀设于第四研磨液供应槽与传输管路之间；其中研磨剂、氧化剂、清洁药剂与抗蚀剂在传输管路中快速混合并直接传输至研磨设置。