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发明名称 Lithographic apparatus and device manufacturing method
摘要
申请公布号 EP1265105(B1) 申请公布日期 2009.04.22
申请号 EP20020253824 申请日期 2002.05.30
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 HOL, SVEN ANTOIN JOHAN;BUIS, EDWIN JOHAN;DE WEERDT, ROBRECHT EMIEL MARIA LEONIA
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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