发明名称 | 一种同轴度检测装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种同轴度检测装置,用于两个内孔之间的同轴度检测,支撑机构、旋转机构、定位机构以及检测机构,其中,所述定位机构的旋转中心轴相对于被检测零件一的圆形内孔面的中心轴相同,所述检测机构与所述定位机构在旋转时具有相同的旋转中心轴。因此,该同轴度检测装置所检测的同轴度直接是被测第一孔与被测第二孔的同轴度。该同轴度检测装置具有检测精度高的特点,并能实现大尺寸孔径、距离远之间的孔的同轴度高精度在线检测。 | ||
申请公布号 | CN101413778A | 申请公布日期 | 2009.04.22 |
申请号 | CN200810200917.0 | 申请日期 | 2008.10.08 |
申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 陈慧;袁志扬;严天宏 |
分类号 | G01B5/252(2006.01)I | 主分类号 | G01B5/252(2006.01)I |
代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王 洁 |
主权项 | 1. 一种同轴度检测装置,用于两个被检测零件的圆形内孔轴线之间的同轴度检测,包括支撑机构、位于支撑机构的支撑平面上的旋转机构、与旋转机构连接的定位机构以及与定位机构连接的检测机构,其特征在于,所述定位机构的旋转中心轴相对于被检测零件一的圆形内孔的轴线相同,所述检测机构与所述定位机构在旋转时具有相同的旋转中心轴。 | ||
地址 | 201203上海市张江张东路1525号 |