采用具有等离子体处理系统的光学系统的装置和方法

摘要

本发明提供了一种等离子体处理系统以及操作光学系统以及等离子体处理系统的操作方法。所述等离子体处理系统包括与等离子体处理系统的等离子体处理室连通的光学系统。所述光学系统具有窗口，并且被构造和布置成能够通过窗口和所述窗口的透射状况来检测等离子体处理状况。所述方法包括检测来自等离子体处理区的光发射，以及监测光学系统提供的窗口的污染状况。

主权项

1、一种等离子体处理系统，包括：具有开口并包含等离子体处理区的腔室；卡盘，所述卡盘被构造和布置成支撑所述腔室内所述处理区中的基片；与所述腔室连通的等离子体发生器，所述等离子体发生器被构造和布置成在等离子体处理过程中在所述等离子体处理区中产生等离子体；以及经由所述开口与所述腔室连通并具有窗口的光学系统，所述光学系统被构造和布置成检测窗口的透射状况，并且通过检测穿过窗口的光发射来检测等离子体处理状况，所述光学系统包括透射检测器系统，所述透射检测器系统被构造和布置成用于检测透射状况，所述光学系统还包括位于彼此光学连通的透射输入透镜与窗口之间的活门，所述活门被构造成至少部分保护所述透射输入透镜免受污染，其中所述透射检测器系统包括：透射输入透镜，所述透镜被构造成使来自光源的光透过所述窗口；以及透射输出透镜，所述透射输出透镜被构造成接收透过所述窗口的光，用于检测透射状况，所述透射输出透镜能够将透射状况传送给所述光学系统。