发明名称 采用红外热成像法进行缺陷检测和分析
摘要 描述了用于提供改善的使用红外热成像法的缺陷检测和分析的方法和系统(310)。来自信号发生器(330)的测试向量对一被测器件(305)特征加热,以便产生对识别缺陷有用的热特性。所述测试矢量被持续一段时间,以增强缺陷之间以及围绕特征的热对比,使得红外(IR)成像设备(315)能够获取改善的热图像。在某些实施例中,交流和直流测试矢量的组合将功率传输最大化以加快加热,并从而加快测试。对所述改善的图像应用的数学变换进一步增强了缺陷检测和分析。某些缺陷产生图像膺象,或称“缺陷膺象”,这模糊了缺陷,使得缺陷定位的工作变得困难。某些实施例采用缺陷定位算法,其分析缺陷膺象以精确地定位相应的缺陷。
申请公布号 CN100480693C 申请公布日期 2009.04.22
申请号 CN03802593.0 申请日期 2003.01.22
申请人 马雷纳系统有限公司 发明人 玛丽安·埃讷凯斯库;谢尔盖·别利科夫
分类号 G01N25/72(2006.01)I;G01R31/02(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I;G01R31/3183(2006.01)I 主分类号 G01N25/72(2006.01)I
代理机构 北京金信立方知识产权代理有限公司 代理人 黄 威
主权项 1、一种测试结构包括:a. 显示面板包含:i. 多个源连接线;ii. 多个控制线;iii. 多个共接线;iv. 显示元件的二维阵列,每一显示元件包含晶体管和电容器,其中所述晶体管具有连接到所述源连接线之一的第一电流处理终端,第二电流处理终端,以及连接到所述控制线之一的控制终端,并且其中所述电容器具有连接到所述第二电流处理终端的第一电容器终端,以及连接到共接线之一的第二电容器终端;b. 红外检测器,被放置以便从所述显示面板接收红外辐射;以及c. 信号发生器,其具有:i. 连接到所述源连接线中的至少一个的第一测试信号输出终端;ii. 连接到所述控制线中的至少一个的第二测试信号输出终端;iii. 连接到所述共接线中的至少一个的第三测试信号输出终端。
地址 美国加州