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L'invention a pour but de présenter un procédé et un dispositif de caractérisation d'éléments microscopiques qui soit à la fois fiable, peu coûteux et qui permette d'obtenir de bons résultats lorsque le nombre d'éléments à caractériser est important.À ce titre, l'invention prévoit de découper le signal de source (12,120) par le biais de microsystèmes (200) d'éléments opto-électromécaniques (220), également nommés MOEMS, ce qui génère de nouvelles possibilités de modulation, notamment temporelle, des signaux excitateurs. Plus précisément, l'invention à pour objet un procédé de caractérisation d'éléments microscopiques consistant notamment à propager un signal de source (12,120) lumineux dispersé, découper spatialement le spectre du signal de source (12,120) en au moins deux signaux excitateurs (18,180) présentant des longueurs d'onde lambdai prédéterminées, coder les signaux excitateurs (18, 180), focaliser les signaux excitateurs (18,180) pour générer un signal de sonde (28,280) propagé vers une zone de mesure (30,300), et analyser un signal d'interaction (32,320) issu de l'interaction du signal de sonde (28,280) avec les éléments microscopique situés dans l'espace de mesure (30,300). Le découpage spatial du spectre du signal lumineux de source est réalisé par un microsystème (200) d'éléments opto-électromécaniques (220) (MOEMS).
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