电阻变化元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有与现有技术元件不同的结构，电阻变化特性优良的电阻变化元件。其存在电阻值不同的两种以上的状态，通过施加规定电压或者电流，可以从在上述两种以上的状态中选择的一种状态向另一种状态变化的电阻变化元件，其中，包括上部电极和下部电极以及由上述双方电极夹持的电阻变化层的多层构造体被配置在基板上，电阻变化层具有尖晶石结构，上述下部电极的上述电阻变化层的表面被氧化。这种电阻变化元件可在400℃以下的制造过程中制造。

主权项

1.一种电阻变化元件，其是存在电阻值不同的两种以上的状态，并且通过施加规定的电压或者电流，可以从在所述两种以上的状态中选择的一种状态向另一种状态变化的电阻变化元件，其特征在于：将包括上部电极和下部电极以及由所述上部电极和所述下部电极夹持的电阻变化层的多层结构体配置在基板上，所述电阻变化层具有尖晶石结构，所述下部电极的与所述电阻变化层相对的一侧表面被氧化。