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发明名称 DETECTION SYSTEM FOR NANOMETER SCALE TOPOGRAPHIC MEASUREMENTS OF REFLECTIVE SURFACES
摘要
申请公布号 EP1131623(B1) 申请公布日期 2009.04.08
申请号 EP19990960511 申请日期 1999.11.18
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 NEILSEN, HEINRIK, K.;KUHLMANN, LIONEL;NOKES, MARK
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/47;G01N21/55;G01N21/95;G01N21/956 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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