| 发明名称 |
Uniform gassfordeling i plasmakilde med stort omfang |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NO327017(B1) |
申请公布日期 |
2009.04.06 |
| 申请号 |
NO20020001492 |
申请日期 |
2002.03.26 |
| 申请人 |
THE EUROPEAN COMMUNITY REPRESENTED BY THE EUROPEAN COMMISSION |
发明人 |
COLPO PASCAL;ROSSI FRANCOIS |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/46;B01J19/08;C23C16/505 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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