Phasenwechselspeicher mit konischem Heizelement

摘要

Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren zum Herstellen einer nichtflüchtigen Phasenwechsel-Speicherzelle (PCM-Speicherzelle) auf. Dieses Verfahren umfasst ein Herstellen von mindestens einer Bodenelektrode, Herstellen von mindestens einer Phasenwechsel-Materialschicht auf mindestens einem Abschnitt in einer oberen Fläche der Bodenelektrode, Herstellen von mindestens einer Heizelementschicht auf mindestens einem Abschnitt in einer oberen Fläche der Phasenwechsel-Materialschicht und Formgebung der Heizelementschicht in eine konische Form, so dass eine obere Fläche der Heizelementschicht eine Querschnittsbreite aufweist, die wesentlich breiter als eine Querschnittsbreite der unteren Fläche der Heizelementschicht ist, welche die Phasenwechsel-Materialschicht kontaktiert. Eine andere Ausführungsform der vorliegendenur (PCM-Struktur) auf, die zur Anwendung als ein nichtflüchtiges Speicherelement konfiguriert werden kann. Das Element umfasst mindestens eine Bodenelektrode, mindestens eine Phasenwechsel-Materialschicht auf mindestens einem Abschnitt in einer oberen Fläche der Bodenelektrode und mindestens eine Heizelementschicht auf mindestens einem Abschnitt in einer oberen Fläche der Phasenwechsel-Materialschicht, wobei die Heizelementschicht eine konische Form aufweist, so dass eine obere Fläche der Heizelementschicht eine Querschnittsbreite besitzt, die wesentlich breiter als eine ...