半导体装置，光罩，半导体装置之制造方法及图案布局方法

摘要

本发明之半导体装置具备有多个线图案LN和线垫图案PD。线图案LN经由空间图案SP重复配置。线垫图案PD跨越多行之线图案LN。该线垫图案PD与多行之一行中位于线垫图案PD一侧之线图案LN连接，与多行之另一行中位于线垫图案PD另一侧之线图案LN连接，且在另一行中位于线垫图案PD一侧之线图案LN具有断线部分DC。利用此种方式，可提供一种低成本和良好精确度形成有具有微细线和空间状(line-and-space-shape)之线图案和线垫图案之布线图案的半导体装置及其制造方法、及其制造所使用之光罩。