| 发明名称 | 处理气流的装置 | ||
| 摘要 | 一种在从工艺反应室中泵抽出含有有机铝前体的气流时，防止铝在真空泵内沉积的方法，所述方法包括向真空泵上游的气流供应氯，使其与前体反应形成在气相状态下可以无害的通过泵的氯化铝。 | ||
| 申请公布号 | CN101400821A | 申请公布日期 | 2009.04.01 |
| 申请号 | CN200780008754.X | 申请日期 | 2007.02.22 |
| 申请人 | 爱德华兹有限公司 | 发明人 | C·J·肖;C·M·拜利 |
| 分类号 | C23C16/20(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 林毅斌;韦欣华 |
| 主权项 | 1. 一种在从工艺反应室中泵抽出含有有机金属前体的气流时，防止金属在真空泵中沉积的方法，所述方法包含向所述真空泵上游的气流供应卤素，使其与所述前体反应形成气态金属卤化物的步骤。 | ||
| 地址 | 英国西萨塞克斯郡 | ||