| 摘要 |
本发明系提供一种显像液，其可适用于由化学增幅型光阻所构成之厚膜光阻的显像。本发明之显像液，系由含阴离子性界面活性剂、及阳离子性界面活性剂之四级铵化合物之水溶液所构成之光阻显像液，其特微在于：将光阻显像液整体之质量视为100质量％，含有下述式(1)所示之阴离子性界面活性剂0.1~5质量％、阳离子性界面活性剂0.01~2质量％；#P 097117937P01.bmp（式中，R#sP!1#eP!为氢原子或甲基，R#sP!2#eP!为氢原子或碳数1~4之烷基，A为碳数1~4之伸烷基，于一分子中，AO可为相同、亦可为相异之2种以上的组合，P为1~3之整数，ｍ为5~30，Ｍ为氢原子或铵离子。） |
