涂布装置

摘要

本发明的涂布装置，是具有：使基板浮起来进行搬运的基板搬运部、对于藉由上述基板搬运部所搬运中的上述基板来涂布液状体的涂布部、以及具有，当上述涂布部的预备吐出动作时从上述涂布部涂布上述液状体的大致平面的预备吐出面的预备吐出部。