作为碳基膜的前驱物的环戊烯

摘要

本发明涉及环戊烯用作碳基膜的前驱物。本发明提供在基材上形成无定形碳层的方法。所述方法包括以下步骤：将基材安置在加工室中；将制程气体引入到所述加工室中，其中制程气体包括含有具有单个碳-碳双键的C#sB!4#eB!-C#sB!10#eB!环烃的组合物，其中组合物不含稳定剂；产生所述制程气体的电浆；并且在基材上沉积无定形碳层。