利用干涉微影之相位差来提高解析度

摘要

根据本发明之实施例，提出干涉微影(IL)系统和方法。具第一相位差之二同调光束曝照非线性光阻上的第一干涉图案。利用具第二相位差之同样的同调光束曝照非线性光阻上的第二干涉图案。第一与第二相位差相差70度至270度。产生之图案是由第一和第二干涉图案组成。IL可采用第三和第四光束。