研磨垫调节器及研磨垫的调节方法

摘要

一种研磨垫调节器，其包括底层、至少一个表面调节单元以及至少一个沟槽清除单元。表面调节单元与沟槽清除单元皆配置于底层之表面上。此外，表面调节单元与沟槽清除单元为一体成形的构形。