多晶矽层的制作方法

摘要

一种多晶矽层的制作方法。首先，提供基板。接着，于基板上形成非晶矽层。再来，提供图案化光罩，此图案化光罩包括透光区与遮光区，且以图案化光罩为罩幕，对非晶矽层照射一光线，其中，对应透光区的非晶矽层转变为亲水性的非晶矽层，而对应遮光区的非晶矽层为疏水性的非晶矽层。继之，提供亲水性金属催化剂，配置在亲水性的非晶矽层上。之后，进行退火制程，使亲水性金属催化剂形成为金属催化剂层，并且，经由金属催化剂层的作用使非晶矽层转变为多晶矽层。