| 发明名称 | 用于流体处理板状物品的装置 | ||
| 摘要 | 本文公开了一种用于流体处理板状物品的装置，其包括用于保持并围绕基本上垂直旋转轴转动板状物品的回转头；用于悬浮并驱动回转头且不接触的驱动机构，该悬浮并驱动回转头的机构围绕回转头径向地布置；基本上圆柱形侧壁，其基本上与旋转轴同心，其中，圆柱形侧壁被布置在回转头与驱动机构之间，且插入回转头与驱动机构之间的空隙中；用于将回转头与壁面彼此相对地升起和下降的升降机构。 | ||
| 申请公布号 | CN101395700A | 申请公布日期 | 2009.03.25 |
| 申请号 | CN200780008133.1 | 申请日期 | 2007.02.07 |
| 申请人 | SEZ股份公司 | 发明人 | R·奥博维格 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 朱德强 |
| 主权项 | 1. 一种用于流体处理板状物品的装置，其包括：·用于保持并围绕旋转轴转动板状物品的回转头；·用于悬浮并驱动回转头且不接触回转头的驱动机构，该驱动机构围绕回转头径向地布置；·基本上圆柱形壁，其基本上与旋转轴同心，其中，该圆柱形壁被布置在回转头与驱动机构之间，且插入在回转头与驱动机构之间的间隙中；以及·轴向移动机构，其用于使回转头与壁沿着旋转轴彼此相对地轴向移动。 | ||
| 地址 | 奥地利菲拉赫 | ||