具有确定热膨胀系数的衬底

摘要

本发明涉及用于接收由选自晶体材料的材料构成的转移层(20)的复合支撑体(10)，这样组装件构成用于外延的衬底(30)，支撑体的特征在于其具有与其主表面平行的纵向对称面(100)并且其包含：·在规定温度T具有第一热膨胀系数的中心第一层(1)，所述层在对称面的任一面上横向延伸；和·至少一对横向层(2，2’；3，3’)，每对的层彼此相对并具有：-在复合支撑体(10)中相对于对称面基本对称的排列；-在温度T的基本彼此相等的第二热膨胀系数；和-基本彼此相等的厚度；并且特征在于选择构成复合支撑体(10)的层的材料，以使复合支撑体(10)在温度T的整体热膨胀系数与转移层(20)的材料在温度T的热膨胀系数接近。本发明还涉及在所述复合支撑体上形成有用层的方法，以及涉及包含用于外延的衬底的结构。

主权项

1. 一种用于接收由选自晶体材料的材料所构成的转移层(20)的复合支撑体(10)，从而复合支撑体(10)和转移层(20)的组装件形成外延衬底(30)，所述复合支撑体的特征在于其具有与其主表面平行的纵向对称面(100)并且其包含：·在特定温度T具有第一热膨胀系数并在纵向对称面的任一侧横向延伸的中心第一层(1)；和·至少一对横向层(2，2’；3，3’)，其中每对横向层的的一层相对于另一层具有：-在复合支撑体(10)中相对于纵向对称面基本对称的排列；-在温度T的基本彼此相等的第二热膨胀系数；和-基本彼此相等的厚度；并且其特征在于，选择构成复合支撑体(10)的层的材料，以使复合支撑体(10)在温度T的整体热膨胀系数接近转移层(20)的材料在温度T的热膨胀系数。