垂直腔表面发射激光器以及使用其的成像设备

摘要

本发明提供了垂直腔表面发射激光器以及使用其的成像设备。提供了具有抑制多模操作的多层反射器的激光器。垂直腔表面发射激光器包括层叠的第一反射镜、具有活性层的腔、以及第二反射镜。第二反射镜是由多次交替地层叠的第一层和第二层构成的多层反射器，第二层的折射率高于第一层的折射率。多个第二层中的至少一个第二层具有氧化限制结构，该氧化限制结构具有氧化区域和非氧化区域。

主权项

1. 一种垂直腔表面发射激光器，包括层叠的第一反射镜、具有活性层的腔、以及第二反射镜，其中，所述第二反射镜是由多次交替地层叠的第一层和第二层构成的多层反射器，所述第二层的折射率高于所述第一层的折射率，并且，其中，构成所述多层反射器的多个第二层中的至少一个第二层具有氧化限制结构，该氧化限制结构具有氧化区域和非氧化区域。