发明名称 |
堆叠半导体芯片 |
摘要 |
本发明公开了一种堆叠半导体芯片。一个实施例提供了第一半导体芯片的阵列,利用模制材料覆盖第一半导体芯片的阵列,以及在第一半导体芯片的阵列上设置第二半导体芯片的阵列。减小第二半导体芯片的厚度。通过分离模制材料使第一半导体芯片的阵列独立。 |
申请公布号 |
CN101393873A |
申请公布日期 |
2009.03.25 |
申请号 |
CN200810211547.0 |
申请日期 |
2008.09.19 |
申请人 |
英飞凌科技股份有限公司 |
发明人 |
克劳斯·普雷塞尔;戈特弗里德·比尔 |
分类号 |
H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L25/00(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/50(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
章社杲;李 慧 |
主权项 |
1. 一种方法,包括:提供第一半导体芯片的阵列;利用模制材料覆盖所述第一半导体芯片的阵列;在所述第一半导体芯片的阵列上方设置第二半导体芯片的阵列;减小所述第二半导体芯片的厚度;以及通过分离所述模制材料使所述第一半导体芯片的阵列独立。 |
地址 |
德国瑙伊比贝尔格市 |