发明名称 堆叠半导体芯片
摘要 本发明公开了一种堆叠半导体芯片。一个实施例提供了第一半导体芯片的阵列,利用模制材料覆盖第一半导体芯片的阵列,以及在第一半导体芯片的阵列上设置第二半导体芯片的阵列。减小第二半导体芯片的厚度。通过分离模制材料使第一半导体芯片的阵列独立。
申请公布号 CN101393873A 申请公布日期 2009.03.25
申请号 CN200810211547.0 申请日期 2008.09.19
申请人 英飞凌科技股份有限公司 发明人 克劳斯·普雷塞尔;戈特弗里德·比尔
分类号 H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L25/00(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I 主分类号 H01L21/50(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 章社杲;李 慧
主权项 1. 一种方法,包括:提供第一半导体芯片的阵列;利用模制材料覆盖所述第一半导体芯片的阵列;在所述第一半导体芯片的阵列上方设置第二半导体芯片的阵列;减小所述第二半导体芯片的厚度;以及通过分离所述模制材料使所述第一半导体芯片的阵列独立。
地址 德国瑙伊比贝尔格市