一种硅基有机发光微显示器件表面银电极的制备方法

摘要

本发明涉及硅基有机发光微显示器件制造技术领域，具体涉及一种硅基有机发光微显示器件表面银电极的制备方法。为了解决现有技术中有机发光微显示器件表面电极不平整的问题，本发明提供一种硅基有机发光微显示器件表面银电极的制备方法，在硅基片基底上依次完成内部驱动电路、绝缘层、像素表面电极下的通孔，然后在整个表面形成一层绝缘层，光刻后进行刻蚀，将像素区域的绝缘层去除，露出通孔，保留像素间的绝缘层作为隔离墙进行隔离，之后在表面形成金属银层，进行CMP工艺，直到隔离墙露出，此时像素之间隔离开。本发明有效的提高了银与绝缘层的黏附性，在CMP工艺时不易脱落；表面银电极形成大马士革结构，采用CMP工艺提高表面平整度。

主权项

1、一种硅基有机发光微显示器件表面银电极的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：(1)在硅基衬底上完成驱动电路、并完成绝缘层的制备；(2)在绝缘层上完成像素电极下通孔的刻蚀；(3)在完成通孔后生长一层绝缘层；(4)对所述绝缘层光刻后进行刻蚀，露出像素区表面，留下像素之间绝缘层作为隔离墙；(5)生长电极层，使像素区电极层的高度高于隔离墙；(6)对银表面进行CMP工艺，直到露出隔离墙，使所有像素隔开。