研削加工方法及研削加工装置

摘要

对在旋转轨迹上移动之工件W全面，均匀地喷射研磨材料。于既定之旋转轨迹上旋转移动工件，且将每次喷射定量之研磨材料的喷射嘴20之移动速度控制为随往该旋转轨迹之中心侧使其相对地变快，随往外周侧使其相对地变慢，且于该旋转轨迹之该外周线与内周线间，或该外周线→中心方向→外周线间反覆地往返移动。上述喷射嘴20之移动速度控制，系将工件W之旋转轨迹划分为同心圆状之复数个等面积区域，使喷射嘴20分别以一定时间横越各等面积区域来控制。