吸着台

摘要

[课题]提供吸收各种振动频率之振动，而防止振动朝检查基板等之板状构件传达的振动吸收装置。[解决手段]振动吸收装置是连接于真空吸引手段，而用于支托成为被载置对象之构件的吸附台之板状物。该振动吸收装置系：于一侧载有被载置构件，另一侧连接于真空吸引手段；具备将与真空吸引手段之连接部位和一侧连通连结的通气路；通气路是由不同大小的复数个小孔所构成，且该等小孔是由以点接触所结合之金属细片加以构成的壁面所形成；吸收起因于真空吸引手段之振动，而防止振动传至被载置构件。