| 摘要 |
本发明系提供一种即使是藉由具有透明性之材料所形成之被加工物，亦可确实地检测保持于夹头台之被加工物之上面高度位置的高度位置检测装置。该高度位置检测装置系用以检测保持于夹头台之被加工物之上面高度位置者，且包含有：雷射光束振荡机构；环状光点形成机构，系将业已藉由雷射光束振荡机构振荡之雷射光束之光点形状形成为环状者；光束分光镜，系将业已藉由该环状光点形成机构使光点形状形成为环状之雷射光束导入第1路径者；聚光器，系将业已导入第1路径之雷射光束聚光并照射至保持于夹头台之被加工物者；针孔光罩，系配置于第2路径上，且该第2路径系藉由保持于夹头台之被加工物反射之雷射光束被该光束分光镜分割形成者；圆锥镜，系将通过针孔光罩之光点形状呈环状之反射光变换成线状光点形状者；位置检测器，系检测业已藉由圆锥镜变换成线状光点形状之反射光之位置者；及控制机构，系依据藉由位置检测器所检测之反射光之位置，求取保持于夹头台之被加工物之上面高度位置者。 |
