发明名称 测试固体表面与界面特性的方法
摘要 本发明是在固体表面形成的一种反射式一维表面波衍射光棚。在激光束的照射下,产生一列线阵分布的衍射光斑,采用线阵电荷耦合光电器件等系统,得到高精度、快速、自动的光信息处理,取得固体表面与界面的应力、应变、原子扩散等的动态特性,为生产、科研、教学实验开创了研究分析的新方法,具有很高的应用价值。
申请公布号 CN1054832A 申请公布日期 1991.09.25
申请号 CN91101993.6 申请日期 1991.03.27
申请人 西北工业大学 发明人 杨永正
分类号 G01N13/00;G01N21/17 主分类号 G01N13/00
代理机构 航空工业部西北专利事务所 代理人 宋仙波
主权项 1、本发明涉及一种测试固体表面与界面特性的方法,其特征在于:在固体材料表面上用光刻、离子溅射、刻划的方法制作出平行等间隔的槽沟,原子自动地从具有高化学势的峰流向低化学势的谷,形成反射式固体一维表面波光栅;
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