供压印微影术用的滴剂图案产生技术

摘要

产生用于压印微影术制程之流体滴剂图案包括：选择一压印表面及在压印微影术基材上产生一流体滴剂图案，该图案包括用于置放实质相等体积之多个滴剂的滴剂位置。该流体滴剂图案经由一个以上之修正的洛伊德方法迭代而产生。该流体滴剂图案允许于该压印微影术制程期间实质完全地填充压印表面之表面特征及形成实质一致的残余层。