用于监控图案化结构的性质之方法及系统

摘要

用于描绘一个物件的性质之方法及系统，该物件具有包含数个不同周期性图案的结构。该方法包括：提供一个预测的理论模型，代表由对应部位之几何参数及材料参数所定义的不同堆叠的光学性质，前述部位的几何参数及材料参数中至少有一个是共通的；对物件上至少两个不同堆叠进行光学量测，并产生代表每个受测堆叠之几何参数及材料组成参数的光学测得数据，处理该光学测得数据，前述处理包含同时将前述多个受测堆叠的光学测得数据配适到前述理论模型，并撷取出至少一个共通参数，因而实现描绘单一物件中多层结构的性质。