发明名称 加工装置
摘要 本发明之加工装置在发现监视器上显示之细部影像有不良处时,可明确辨识该区域而能适切迅速查明原因,包含有:夹持盘,系固持被加工物者;加工机构,系将由该夹持盘固持之被加工物加工者;摄像机构,系拍摄被加工物者;及显示机构,系显示藉该摄像机构拍摄之影像者,且,前述摄像机构具有整体摄像部,系拍摄由前述夹持盘固持之被加工物之整体者;细部摄像部,系拍摄被加工物之细部者;影像合成部,系将藉前述整体摄像部拍摄之被加工物之整体影像与藉前述细部摄像部拍摄之细部影像合成显示于前述显示机构上,并且在被加工物之整体影像显示细部影像之位置。
申请公布号 TW200912289 申请公布日期 2009.03.16
申请号 TW097125868 申请日期 2008.07.09
申请人 迪思科股份有限公司 发明人 关家一马
分类号 G01N21/892(2006.01);H01L21/302(2006.01) 主分类号 G01N21/892(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 日本