单晶矽上拉用石英玻璃坩埚及其制造方法

摘要

本发明之目的在提供一种利用简单的构成即可防止直胴部上端朝向内侧倾倒的单晶矽上拉用石英玻璃坩埚及其制造方法。本发明之单晶矽上拉用石英玻璃坩埚系具备有直胴部与底部的单晶矽上拉用石英玻璃坩埚，其特征为：至少在前述直胴部形成假想温度的斜率，且使最外侧的假想温度比最内侧的假想温度低25℃以上。