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Ein kontaktloser Aktor, der sich auf einem Substrat (10) befindet und zumindest eine Platte (30) und eine Stütze (31) umfasst. Wenn von außen eine Spannung angelegt wird, wird die Platte durch die Anziehung des Substrats gebogen, ohne jedoch mit dem Substrat in Kontakt zu gelangen. Eine Gegenkraft wird erzeugt, wenn die Platte der elektrostatischen Kraft des Substrats entgegenwirkt. Nach Wegnahme der Spannung werden die Gegenkraft und eine elastische Spannung, die durch die Rückkehr der Platte aus ihrem gekrümmten Zustand in ihren ursprünglichen Zustand erzeugt wird, genutzt, um eine Prellbewegung der Platte und der Stütze zu erzeugen und um eine Schrittbewegung des Aktors zu schaffen. Da zwischen der Platte und dem Substrat keine Reibung vorhanden ist, erfordert der erfindungsgemäße kontaktlose Aktor eine viel geringere Spannung und verbraucht nur einen minimalen Strom, so dass die Ansteuerspannung gesenkt wird und der Stromverbrauch verringert wird und außerdem eine Verformung der Vorrichtung verringert wird, was für eine längere Lebensdauer der Vorrichtung sorgt.
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