用以感测化学物质的微型传感器

摘要

本发明提供一种用以感测一化学物质的微型传感器。本发明的微型传感器包含一基板、一微悬臂梁、一电极结构以及一测量组件。所述微悬臂梁形成于所述基板上并且具有用以捕捉所述化学物质的一捕捉面。所述电极结构用以提供一电场，所述电场设置成辅助所述捕捉面捕捉所述化学物质。所述测量组件耦接至所述微悬臂梁，所述测量组件用以测量由被捕捉的所述化学物质引发所述微悬臂梁的一机械性质的一变化量，并且将所述变化量转译成与所述化学物质相关的一信息。

主权项

1、一种用以感测一化学物质的微型传感器，其特征在于，所述微型传感器包含：一基板；一微悬臂梁，所述微悬臂梁形成于所述基板上并且具有用以捕捉所述化学物质的一捕捉面；一电极结构，所述电极结构用以提供一电场，所述电场设置成辅助所述捕捉面捕捉所述化学物质；以及一测量组件，所述测量组件耦接至所述微悬臂梁，所述测量组件用以测量由被捕捉的所述化学物质引发所述微悬臂梁的一机械性质的一变化量，并且将所述变化量转译成与所述化学物质相关的一信息。