发明名称 图像传感器及其制造方法
摘要 本发明公开了一种图像传感器及其制造方法。所述图像传感器包括:半导体衬底,包括CMOS电路;介电层,在所述半导体衬底上,所述介电层包括金属互连;底部电极,在所述金属互连上,其中所述底部电极具有至少一个突起;光电二极管,在所述介电层和所述底部电极上;以及顶部电极,在所述光电二极管上。通过本发明的图像传感器及其制造方法,能够提高底部电极的电子接收能力,并且能够减少或防止相邻底部电极之间的干扰(例如串扰和/或噪声)。
申请公布号 CN101383365A 申请公布日期 2009.03.11
申请号 CN200810213825.6 申请日期 2008.09.08
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 李秉镐
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H01L23/552(2006.01)I;H01L31/105(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 郑小军;冯志云
主权项 1、一种图像传感器,包括:半导体衬底,包括CMOS电路;介电层,位于所述半导体衬底上,且包括金属互连;底部电极,位于所述金属互连的表面上,所述底部电极具有至少一个突起;光电二极管,位于所述介电层和所述底部电极上;以及顶部电极,位于所述光电二极管上。
地址 韩国首尔