发明名称 |
图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种图像传感器及其制造方法。所述图像传感器包括:半导体衬底,包括CMOS电路;介电层,在所述半导体衬底上,所述介电层包括金属互连;底部电极,在所述金属互连上,其中所述底部电极具有至少一个突起;光电二极管,在所述介电层和所述底部电极上;以及顶部电极,在所述光电二极管上。通过本发明的图像传感器及其制造方法,能够提高底部电极的电子接收能力,并且能够减少或防止相邻底部电极之间的干扰(例如串扰和/或噪声)。 |
申请公布号 |
CN101383365A |
申请公布日期 |
2009.03.11 |
申请号 |
CN200810213825.6 |
申请日期 |
2008.09.08 |
申请人 |
东部高科股份有限公司 |
发明人 |
李秉镐 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L23/552(2006.01)I;H01L31/105(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郑小军;冯志云 |
主权项 |
1、一种图像传感器,包括:半导体衬底,包括CMOS电路;介电层,位于所述半导体衬底上,且包括金属互连;底部电极,位于所述金属互连的表面上,所述底部电极具有至少一个突起;光电二极管,位于所述介电层和所述底部电极上;以及顶部电极,位于所述光电二极管上。 |
地址 |
韩国首尔 |