使用离子液体电沉积金属的方法

摘要

本发明涉及在基底上电镀或电抛光金属的方法，其中使用选自由N⁺R₁R₂R₃R₄X^-和N⁺R₅R₆R₇R₈Y^-组成的组的离子液体作为电解质，并使用添加到该离子液体中的金属盐作为金属源，或使用金属阳极作为金属源，其中R₁至R₈中任一个独立地代表氢、烷基、环烷基、芳基或芳烷基，它们可以被选自OH、Cl、Br、F、I、苯基、NH₂、CN、NO₂、COOR₉、CHO、COR₉或OR₉的基团取代，R₅至R₈中至少一个是脂肪烷基链，且R₅至R₈中一个或多个可以是(多)氧化亚烷基基团，其中所述亚烷基是C₁至C₄亚烷基，且氧化亚烷基单元的总数可以为1至50个氧化亚烷基单元，R₁至R₈中至少一个为C₁至C₄烷基链，R₉是烷基或环烷基，X^-是具有N-酰基磺酰亚胺阴离子(-CO-N^--SO₂-)官能的阴离子，Y^-是与N⁺R₅R₆R₇R₈铵阳离子相容的阴离子，例如卤化物阴离子、羧酸根阴离子、硫酸根(有机和无机硫酸根)、磺酸根、碳酸根、硝酸根、亚硝酸根、硫代氰酸根、氢氧根或磺酰亚胺阴离子。

主权项

1. 在基底上电镀或电抛光金属的方法，其中使用选自由N+R1R2R3R4X-和N+R5R6R7R8Y-组成的组的离子液体作为电解质，并使用添加到该离子液体中的金属盐作为金属源，或使用金属阳极作为金属源，其中R1至R8中任一个独立地代表氢、烷基、环烷基、芳基或芳烷基，它们可以被选自OH、Cl、Br、F、I、苯基、NH2、CN、NO2、COOR9、CHO、COR9或OR9的基团取代，R5至R8中至少一个是脂肪烷基链，且R5至R8中一个或多个可以是(多)氧化亚烷基基团，其中亚烷基是C1至C4亚烷基，且氧化亚烷基单元的总数可以为1至50个氧化亚烷基单元，且R1至R8中至少一个为C1至C4烷基链，R9是烷基或环烷基，X-是具有N-酰基磺酰亚胺阴离子(-CO-N--SO2-)官能的阴离子，Y-是与N+R5R6R7R8铵阳离子相容的阴离子，例如卤化物阴离子、羧酸根阴离子、硫酸根(有机和无机硫酸根)、磺酸根、碳酸根、硝酸根、亚硝酸根、硫代氰酸根、氢氧根或磺酰亚胺阴离子。