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发明名称 RELAY LENS USED IN AN ILLUMINATION SYSTEM OF A LITHOGRAPHY SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100888011(B1) 申请公布日期 2009.03.09
申请号 KR20070084443 申请日期 2007.08.22
申请人 发明人
分类号 G02B9/00;G02B13/00;G02B3/00;G02B11/16;G02B13/14;G02B13/18;G02B13/22;G02B13/24;G02B17/08;G02B19/00;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G02B9/00
代理机构 代理人
主权项
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