静电夹头

摘要

本发明之静电夹头，包括：一底部；一热绝缘层，结合于该底部上；及一夹头功能部，结合于该热绝缘层上，且藉由将一加热器电极及一静电夹头(ESC)电极备置于一陶瓷基材部中而组成。黏附层分别地备置在热绝缘层之两表面侧边上。在底部与夹头功能部以高黏附强度结合在一起的事例中，开口形成于热绝缘层中且被黏附层填满。