DISPOSITIVO SENSOR DE GAS DE PELICULA SEMICONDUCTORA FINA.

摘要

Un dispositivo sensor de gas de película fina, que comprende un sustrato (2) aislante que tiene al menos dos caras, una pluralidad de elementos (3, 4) sensores fabricados de película semiconductora fina aplicada a una única cara del sustrato (2) y equipados con regiones (5, 6, 7) de contacto respectivas, un elemento (8) de calentamiento resistivo para calentar el sustrato (2) y la película (3, 4) semiconductora hasta una temperatura predeterminada, aplicándose el elemento (8) de calentamiento resistivo a dicha única cara del sustrato (2) y estando equipado con regiones (9, 10) de contacto respectivas para la conexión a una fuente de energía eléctrica; caracterizado porque dicho elemento (8) de calentamiento resistivo presenta un patrón de serpentina con una pluralidad de curvas y porque cada película (3, 4) semiconductora está situada en una curva no consecutiva de la serpentina.