在一设备中用于制造碳奈米管之触媒散布装置

摘要

根据本发明一示范性范例提供一种触媒散布装置，包含：一网舟，其储存要散布在一基板上的触媒，并包括具有一网状物之底部；一输送单元，其输送该网舟或该基板；以及一振动单元，其振动该网舟来将该触媒散布在该基板上。