发明名称 Polymer, Resistzusammensetzung und Musterübertragungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60137280(D1) 申请公布日期 2009.02.26
申请号 DE2001637280 申请日期 2001.03.05
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. 发明人 NISHI, TSUNEHIRO;HASEGAWA, KOJI;WATANABE, TAKERU;KINSHO, TAKESHI;HATAKEYAMA, JUN
分类号 G03F7/004;G03F7/039;C08F232/08 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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