发明名称 MULTI-POST STRUCTURES
摘要 Micromechanical devices having complex multilayer structures and techniques for forming the devices are described.
申请公布号 KR20090020604(A) 申请公布日期 2009.02.26
申请号 KR20087030214 申请日期 2007.05.15
申请人 FUJIFILM DIMATIX, INC. 发明人 BIRKMEYER JEFFREY
分类号 H01L29/06;H01L21/20 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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