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发明名称 Verfahren zur Verbesserung der Reproduzierbarkeit einer Koordinaten-Messmaschine und deren Genauigkeit
摘要
申请公布号 DE102007025304(B4) 申请公布日期 2009.02.26
申请号 DE200710025304 申请日期 2007.05.30
申请人 VISTEC SEMICONDUCTOR SYSTEMS GMBH 发明人 HEIDEN, MICHAEL;RINN, KLAUS;SCHAAF, ANDREAS
分类号 G01B11/03;G01B11/14;G01B11/24 主分类号 G01B11/03
代理机构 代理人
主权项
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