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发明名称
摘要
申请公布号 JP4230596(B2) 申请公布日期 2009.02.25
申请号 JP19990066552 申请日期 1999.03.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/8247;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/448;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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