| 发明名称 | 清洗铝合金零件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种清洗铝合金零件的方法，首先用超纯水喷淋铝合金零件的表面；然后用金属抛光专用研磨液研磨，并用无尘纸蘸IPA擦拭；再用超声清洗；最后用氮气吹干，并进行洁净烘干。可有效去除裸铝表面的水痕，同时避免零件在清洗中再产生水痕，操作简便、清洗效果明显。主要适用于半导体加工设备中铝合金零部件的清洗，也适用于对其它铝合金器件的清洗。 | ||
| 申请公布号 | CN101372748A | 申请公布日期 | 2009.02.25 |
| 申请号 | CN200710120619.6 | 申请日期 | 2007.08.22 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 陶林 |
| 分类号 | C23G5/00(2006.01);B08B3/12(2006.01);B08B3/02(2006.01) | 主分类号 | C23G5/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵镇勇 |
| 主权项 | 1.一种清洗铝合金零件的方法，其特征在于，包括步骤：A、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面；B、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面；C、采用超声清洗铝合金零件表面。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||